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  • MOS開啟電壓(Vth)精準(zhǔn)測試指南介紹
    • 發(fā)布時(shí)間:2025-02-18 19:50:02
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    MOS開啟電壓(Vth)精準(zhǔn)測試指南介紹
    MOS開啟電壓(Vth)測試
    一、測試原理進(jìn)階理解
    開啟電壓是柵源電壓(V_GS)使溝道形成的最低閾值,實(shí)測時(shí)需注意:
    N/P溝道差異:N-MOS需V_GS>Vth,P-MOS需V_GS<Vth(源極電壓基準(zhǔn))
    溫度敏感性:Vth隨溫度升高而降低(約-2mV/℃),高溫測試需修正參數(shù) 
    二、測試設(shè)備配置方案
    基礎(chǔ)配置(實(shí)驗(yàn)室級):
    半導(dǎo)體參數(shù)分析儀(Keysight B1500A等)
    探針臺(配備三軸微調(diào)探針)
    恒溫箱(控溫精度±0.5℃)
    防靜電工作臺(濕度<40%RH)
    高效方案(產(chǎn)線適用):
    采用運(yùn)算放大器+直流電流源系統(tǒng),通過閉環(huán)控制實(shí)現(xiàn):
    漏極強(qiáng)制電壓:0-30V可調(diào)
    柵極電壓步進(jìn):0.01V精度
    自動(dòng)記錄I_D-V_GS曲線 
    三、三類測試方法詳解
    方法1:靜態(tài)測量法(基礎(chǔ)版)
    按圖1連接電路(D-S短接) 
    柵壓步進(jìn):從0V開始,每次增加0.1V
    電流閾值:當(dāng)I_D達(dá)到1mA時(shí)記錄V_GS 
    適用場景:常規(guī)品質(zhì)檢驗(yàn)
    方法2:動(dòng)態(tài)掃描法(精準(zhǔn)版)
    設(shè)置V_DS=6V(典型工作電壓) 
    施加斜坡電壓:V_GS以0.05V/ms速率掃描
    取I_D=250μA對應(yīng)點(diǎn)(避免漏電流干擾) 
    優(yōu)勢:可捕捉亞閾值區(qū)特性
    方法3:產(chǎn)線速測法
    使用圖3電路:運(yùn)算放大器強(qiáng)制I_D=1mA 
    直接讀取V_GS值(省去曲線掃描)
    測試時(shí)間:<3秒/片
    適用場景:批量檢測
    四、關(guān)鍵參數(shù)設(shè)置規(guī)范
    參數(shù) N-MOS典型值 P-MOS典型值 依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)
    V_DS測試電壓 5-10V 5-10V JESD22-A101D
    I_D判定閾值 1mA/250μA 1mA/250μA AEC-Q101
    溫度條件 25℃±2℃ 25℃±2℃ MIL-STD-883
    五、誤差控制技巧
    接觸電阻補(bǔ)償:
    四線法測量:分離電流施加與電壓檢測路徑
    探針壓力控制:3-5gf壓力范圍 
    熱漂移抑制:
    預(yù)加熱處理:測試前通電預(yù)熱30秒
    脈沖式測量:每次施加電壓≤100ms
    柵極漏電處理:
    并聯(lián)10MΩ電阻:吸收寄生電荷
    測試順序:從低到高階梯加壓
    六、數(shù)據(jù)分析要點(diǎn)
    合格判定:
    同一批次Vth波動(dòng)≤±5%
    三次測量極差≤0.02V
    異常數(shù)據(jù)分析:
    Vth偏低:可能柵氧層缺陷
    Vth偏高:摻雜濃度異常
    曲線畸變:接觸不良或器件擊穿
    七、選型關(guān)聯(lián)測試
    根據(jù)應(yīng)用場景補(bǔ)充測試:
    驅(qū)動(dòng)電壓驗(yàn)證:
    信號切換型:V_GS=Vth+3V 
    功率開關(guān)型:V_GS=Vth+10V 
    溫度系數(shù)測試:
    在-40℃/+125℃重復(fù)測試
    計(jì)算ΔVth/ΔT應(yīng)≈-2mV/℃
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